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基于波前编码的光数混合景深延拓技术的研究
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利用光刻仿真软件PROLITH,进行了掩模版空间成像的焦深(DOF)和光学临近效应的仿真。
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该方法通过聚焦深度分析和CRP射线追踪来获得剩余时差,避免了叠前反射层析成像繁重的旅行时拾取工作。
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最初的浸液式曝光实验数据证明了焦深的增加较大,同时以高扫描速度保持了图像的对比度。
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作为分辨率增强技术(RET)之一,离轴照明技术(OAI)通过调整照明方式,不但能提高分辨率还能很好地改善焦深。
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In-Situ Measurement Method of Dense-Line Depth of Focus of a Lithographic Projection System
基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术
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MACROSEISMIC method determining depth of focus taking into account absorption
考虑吸收时确定震源深度的宏观地震方法
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Third, we should focus on the tailings pond, in-depth inspection of production safety.
第三, 要以尾矿库为重点, 深入开展安全生产大检查.
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而硬X射线显微术因为焦深大、穿透能力强,因此可以克服软X射线显微术难以成像较厚细胞的缺陷,具有重要的应用价值。
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在经济持续高速增长、人民生活水平迅速提高的今天,旅游者们关注的重点更多的集中在了获得别致而又深刻的旅游体验。
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该项技术不但可以增加光学系统的焦深,也能够通过去除系统光学面的方法降低系统成本、提高系统装配允差和系统对环境的适应性。
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微分Haar-Gaussian小波变换在大景深物体边缘测量中的应用
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从光线图和系统的MTF两个方面对大焦深成像系统的特性进行了分析,并对结果进行了讨论。
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提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深 ( DOF ) 的新技术.
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在入射光束的孔径受限制的情况下,利用衍射光学元件来增加激光束的焦深。
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利用图像处理技术实现序列显微图像的融合显示是解决显微成像焦深有限的有效方法。
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指出了景深、可见光衍射、辐射输运是CCD图像接收系统模糊效应的3个影响因素。
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主要就曝光能量,分辨力改善情况,焦深变化等与传统情况作了比较。
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本文用部分相干光成像理论研究了提高分辨力及增大焦深的原理.建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。
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指出了数字全息成像系统的焦深不仅与记录时的数值孔径及参考光波长有关,还与具体的光路结构及参考光的偏置有关。
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提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。
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它不仅影响工艺窗口,即,曝光容裕度和焦深(DOF),而且也降低了掩模误差因子(MEF),这能导致附加的掩模费用。
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